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类型
光刻胶型号
适用光谱
厚度范围/um
分辨率
适用工艺
彩色光刻胶
EK 580A
i-Line
0.8—1.5
2um
黑色负性i-line光刻胶,阻挡可见光,较强的粘附性
RGB 彩色光刻胶
0.8—1.4
4um
RGB彩色光阻,可通单色光
染色SU-8
g/h/i-Line
15-200
0.5um
负性环氧类化学放大光刻胶;红色、蓝色、黄色、紫色、绿色、黑色;应用于Filter, colorfilter array (CFA), Color filter mosaic (CFM)